詳細介紹
1)應用於TFT-LCD潔淨廠房中玻璃基板的運輸,機器人搬運出卡匣內的玻璃基板,進入相關生產設備,再將加工好的玻璃基板裝入相應的卡匣。
2)規格參數:
•各軸工作範圍:Z軸3500mm X軸2100mm
•重複定位精度:Z軸±0.2mm,X軸±0.1mm,C軸 ±0.1°,Y軸±0.1mm,L1軸±0.5mm,B軸±0.1mm
•傳動方式: Z軸Belt,X軸Belt,C軸Reduction,Y軸Belt,L1軸Rack,B軸Ball Screw
•行走位移:1200mm •潔淨度:Class10 at0.3um(ISO Class4)
【上一個】:沒有了 【下一個】:LUL液晶麵板裝卸載係統