1）應用於TFT-LCD潔淨廠房中玻璃基板的運輸，機器人搬運出卡匣內的玻璃基板，進入相關生產設備，再將加工好的玻璃基板裝入相應的卡匣。

2）規格參數：

•各軸工作範圍：Z軸3500mm X軸2100mm 

•重複定位精度：Z軸±0.2mm，X軸±0.1mm，C軸  ±0.1°，Y軸±0.1mm，L1軸±0.5mm，B軸±0.1mm  

•傳動方式： Z軸Belt，X軸Belt，C軸Reduction，Y軸Belt，L1軸Rack，B軸Ball Screw 

•行走位移：1200mm •潔淨度：Class10 at0.3um（ISO Class4）